四探針電阻率采購(gòu)時(shí)需說明測(cè)試介質(zhì)的性質(zhì),根據(jù)不同的介質(zhì)選配不同個(gè)測(cè)試探頭,以便達(dá)到設(shè)置的實(shí)驗(yàn)?zāi)康?!具體信息可打詢問! 四探針電阻率測(cè)定儀 貨號(hào):ZH221 嚴(yán)格按照硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造,并針對(duì)目前常用的四探針電阻率測(cè)試儀存在的問題加以改進(jìn) 是用來測(cè)量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份(簡(jiǎn)稱:主機(jī))、測(cè)試架及四探針頭組成。 本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表,在測(cè)量電阻率的同時(shí),另一塊數(shù)字表(以之幾的精度)適時(shí)監(jiān)測(cè)程的電流變化,免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換,及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源,使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān),在測(cè)量某些箔層材料時(shí),可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生,好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器,測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正,并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋。給測(cè)量帶來很大方便。 主機(jī)能數(shù) 測(cè)量范圍: 可測(cè)電阻率:0.0001~19.9999cm 可測(cè)方塊電阻:0.0001~1000Ωcm 恒流源: 輸出電流:DC 0.001~100mA 五檔連續(xù)可調(diào) 量程:0.001~0.01mA 0.01~0.10mA 0.10~1.0mA 1.0~10mA 10~100mA 恒流精度:檔均低于±0.05% 直流數(shù)字電壓表: 測(cè)量范圍:0~19.999mV 靈敏度:1μV 基本誤差:±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度) 輸出電源:≥1000ΩM 供電電源: AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W 使用環(huán)境: 溫度:23±2℃ 相對(duì)濕度:≤65% 較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾,強(qiáng)光直接照射 重量、體積: 主機(jī)重量:7.5kg 體積:365×380×160(單位:mm 長(zhǎng)度×寬度×高度) 四探針頭 產(chǎn)品簡(jiǎn)介 使用幾何尺寸的紅寶石軸套,確保探針間距的恒定、準(zhǔn)確。 控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μm,探針的小游移率。 采用的S型懸臂式彈簧,使每根探針都具有立、準(zhǔn)確的壓力。 量具精度的硬質(zhì)合金探針,在寶石導(dǎo)孔內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)動(dòng),持久耐磨。 用途 測(cè)量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率,測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻。 測(cè)量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。 探針間距 直線四探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm 方形四探針…………… 1.00mm 直線三探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm 兩探針 …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm 指標(biāo) 游移率 B…………… <0.5% A……………<0.3% AA………… <0.2% AAA…………<0.1% 間距偏差 B…………… <3% A…………… <2% AA………… <2% AAA………… <1% zui大針與導(dǎo)孔間隙:0.006mm 探針材料:硬質(zhì)合金(主成份:進(jìn)口碳化鎢)或高速鋼 探針壓力 標(biāo)準(zhǔn)壓力:6—10N(4根針總壓力) 小壓力:1.2—5N(4根針總壓力) 1牛頓(N)=101.97克 針尖壓痕直徑:25—100μm、100—250μm(簿層) 500V緣電阻:>1000MΩ 四探針手動(dòng)測(cè)試架 產(chǎn)品簡(jiǎn)介 支架尺寸: 豎測(cè)高度:500mm 臺(tái)面:200×300mm/240×380mm 特點(diǎn): 主于測(cè)棒、塊。 注:其它尺寸可按要求訂做 四探針手動(dòng)測(cè)試架 產(chǎn)品簡(jiǎn)介 支架尺寸: 豎測(cè)高度:120mm 臺(tái)面:200×300mm 特點(diǎn): 主于測(cè)片。 |